Philips MRD I
Ett mycket flexibelt system med modulära komponenter, ”prefix” och en halvcirkelvagga samt x,y och z-motorer. System kan konfigureras för många olika typer av mätningar av tunna filmer men även bulka material kan analyseras. Med detta system kan man göra nästa alla typer av mätning med låg och medelupplösning (4-kristall monokromatorer saknas), ett flertal komponenter ger hög intensitet vilket möjliggör snabba mätningar.
Primär optik, både punkt och linjefokus kan utnyttjas:
Punkt fokus
- Spaltsystem
- Röntgenlins för hög intensitet vid textur och spänningsmätning.
Linje fokus:
- Programmerbara och manuella spalter
- Ni/C röntgenspegel
- Hybridmonokromator som ger ren CuKα1 strålning
Sekundär optik:
- Pixcel 3D area detektor
- Parallelstrålekollimator (0.09, 0.18 and 0.27º) med monokromator
- Detektorröntgenspegel (Ni/C)
- Två-kristalls analysator
Exempel på mätningar:
- Mycket snabba θ-2θ mätningar (Bragg-Brentano)
- Reciprocal space mappning (RSM) för epitaxiella filmer.
- Textur
- Spänningsmätning
- Lågvinkelmätningar, GIXRD, XRR

Philips MRD II
Ett system med modulära komponenter, ”prefix” och en halvcirkel vagga samt x,y och z-motor. System är designat för lågvinkelmätningar, GIXRD och XRR på tunna filmer. Vaggan används som motoriserad provväxlare.
Primär linjefokus:
- Röntgenspegel
- Automatiskt strålfilter
- Soller
Sekundär optik; fyra olika möjligheter:
- Programmerbara spalter (bara för kalibrering)
- Parallelstrålekollimator (0.09º)
- Parallelstrålekollimator (0.27º)
- Parallelstrålekollimator (0.27º) med monokromator
Motoriserade x,y,z, PSI och PHI för provinlinjering, provväxling.
