Kemiska sektionen

Tunnfilmsmaterial ur gasfas

Forskningsprogrammet i oorganisk kemi har en omfattande verksamhet inom tunnfilmsmaterial, för många olika tillämpningsområden. Här behandlas syntes av tunnfilmer ur gasfas, men tunnfilmer tillverkas även ur lösning. Många av de material vi syntetiserar som tunnfilmer är metastabila, och svåra eller omöjliga, att tillverka i bulk. Målet med vår verksamhet är att kunna kontrollera tunnfilmmaterialets, sammansättning, faser och mikrostruktur för att skapa material med välkontrollerade egenskaper. Vi använder flera tekniker för tunnfilmssyntes: magnetronsputtring, CVD (chemical vapour deposition) och ALD (atomic layer deposition); och våra projekt spänner mellan grundforskning och projekt i sammarbete med industriella partners.

More information in english